Regensburg 2004 – scientific programme

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DS: Dünne Schichten

DS 18: Schichtherstellung III

DS 18.5: Talk

Thursday, March 11, 2004, 17:45–18:00, HS 31

Morphologie von lokal elektrochemisch erzeugten Metallstrukturen - Untersuchung der Einflußparameter — •Angelika Bunk, Anne-D. Müller, Falk Müller und Michael Hietschold — TU Chemnitz, Institut für Physik, 09107 Chemnitz

Mit Hilfe einer elektrolytdurchflossenen Glaskapillare als Bestandteil einer elektrochemischen Zelle wurden punkt- und linienförmige Metallstrukturen mit Abmessungen im µm-Bereich erzeugt. Dimensionen und Morphologie dieser Strukturen hängen von dem elektrischen Feld unter der Kapillarstirnfläche ab, das sich aus angelegter Arbeitsspannung, Elektrolytleitfähigkeit, Kapillargeometrie und Arbeitsabstand zum Substrat ergibt. Weitere Einflußgrößen insbesondere auf die Morphologie der Metallkristalle sind die chemische Natur der Elektrolytlösung und das Substratmaterial. Die Auswirkungen der wichtigsten Parameter auf den Abscheidevorgang selbst hinsichtlich Materialtransport und Kristallnukleation werden demonstriert und interpretiert.