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DS: Dünne Schichten
DS 22: Postersitzung
DS 22.33: Poster
Tuesday, March 9, 2004, 14:30–17:00, Poster B
Charakterisierung von dünnen Fe100−xZrx-Schichten mittels Laserakustik — •Andreas Grob und Ulrich Herr — Abteilung Werkstoffe der Elektrotechnik, Universität Ulm, 89081 Ulm
Seltene Erd-Übergangsmetalllegierungen lassen sich über einen weiten Konzentrationsbereich amorph herstellen. An den Randbereichen des Phasendiagramms erhält man die kristallinen Gleichgewichtsphasen. Dieses Verhalten wurde bereits ausgiebig mit strukturellen und magnetischen Analysemethoden untersucht.
Wir berichten von laserakustischen Messungen an gesputterten Fe100−xZrx-Schichten. Dabei werden mittels eines gepulsten Lasers Oberflächenwellen generiert. Aus den Ausbreitungseigenschaften der Rayleigh-Welle gewinnt man Informationen über die mechanischen Eigenschaften der Schichten. Es wurde ein Konzentrationsbereich untersucht, der sowohl eisenreiche kristalline Schichten, als auch amorphe Schichten umfasst. Die Ergebnisse zeigen eine deutliche Abhängigkeit des Elastizitätsmoduls von der Schichtzusammensetzung und der Struktur. Die Werte werden mit Ergebnissen aus Nanoindentationstests (Hysitron) verglichen.