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DS: Dünne Schichten

DS 22: Postersitzung

DS 22.34: Poster

Dienstag, 9. März 2004, 14:30–17:00, Poster B

In-situ Charakterisierung der Phasenbildung während der Hochenergie-Sauerstoffionen-Implantation in Übergangsmetalle — •Y. Bohne¹, N. Shevchenko², F. Prokert², J. von Borany², B. Rauschenbach¹ und W. Möller² — ¹Leibniz-Institut für Oberflächenmodifizierung e.V., Leipzig — ²Forschungszentrum Rossendorf e.V., Dresden

Die Ionenimplantation ist ein Verfahren zur gezielten Modifizierung dünner Schichten und oberflächennaher Bereiche. Voraussetzung für die Aufklärung der physikalischen Prozesse der implantationsinduzierten Phasen- und Defektbildung als auch thermisch stimulierter Prozesse in implantierten Materialien sind Untersuchungen zur Struktur und Zusammensetzung während der Implantation in einem weiten Temperaturbereich. Anhand der Synthese von Oxiden der Übergangsmetalle Titan und Molybdän wurden während der Hochenergie-Sauerstoffionen-Implantation in-situ Untersuchungen mittels Röntgenbeugungstechnik durchgeführt, um die Phasenbildung dosis- bzw. zeitabhängig zu charakterisieren. Dazu wurden, in einer Hochtemperatur-Vakuumkammer Sauerstoffionen (1,5 MeV, Fluenzen bis 3×10¹⁸ O⁺/cm²) in polykristallines Molybdän bzw. Titan implantiert. Die chemische Zusammensetzung der implantierten Proben wurde mittels Auger Elektronen Spektroskopie (AES) untersucht. Die Bildung von Molybdänoxid (MoO₂) konnte beobachtet werden. Der Beginn der Phasenbildung wird durch die Targettemperatur beeinflußt. In-situ Temperversuche (bis 600 ^∘C) mit implantierten Proben zeigten ein zusätzliches Wachstum von MoO₂ Präzipitaten.