Regensburg 2004 – scientific programme
Parts | Days | Selection | Search | Downloads | Help
DS: Dünne Schichten
DS 22: Postersitzung
DS 22.60: Poster
Tuesday, March 9, 2004, 14:30–17:00, Poster B
Elektrische und strukturelle Eigenschaften dünner gesputterter Goldschichten auf Floatglassubstraten — •Christian Markert, Dirk Lützenkirchen-Hecht und Ronald Frahm — Institut für Materialwissenschaften und Fachbereich C - Physik, Bergische Universität Wuppertal, Gaußstraße 20, D-42119 Wuppertal
Unter Verwendung eines magnetfeldunterstützten DC-Sputtersystems können auf Floatglas-Substraten dünne, polykristalline Goldschichten aufgebacht werden. Unser Interesse gilt bei diesem System speziell der systematischen Untersuchung des Einflusses der Depositionstemperatur, der Schichtdicke sowie einer nach dem Beschichtungsprozess durchgeführten Wärmebehandlung (Tempern) auf die elektrischen und strukturellen Eigenschaften der Schichten.
Für die Charakterisierung der Oberflächen wird ein unter atmosphärischen Bedingungen betriebenes Rasterkraftmikroskop (AFM) verwendet. Mit diesem Gerät lassen sich physikalisch relevante Größen wie die Oberflächenrauhigkeit σRMS sowie die lateralen Kristallitdimensionen bestimmen und deren Veränderung mit einer Genauigkeit im atomaren Maßstab dokumentieren.
Des Weiteren werden an den Goldschichten unter Verwendung einer Vierpunktmeßmethode in situ Leitfähigkeitsmessungen vorgenommen. Das Tempern der Goldschichten führt zur Aktivierung von Ordnungs- und Ausheilvorgängen, welche einen drastischen Rückgang des elektrischen Widerstandes und eine teilweise deutliche Änderung der Schicht-Topographie zur Folge haben. Über die hierbei aufgenommen Temperkurven lassen sich die Aktivierungsenergien sowie die Art der beim Tempern ablaufenden Diffusionsprozesse bestimmen.