Regensburg 2004 – scientific programme

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DS: Dünne Schichten

DS 3: Ionenimplantation III

DS 3.2: Talk

Monday, March 8, 2004, 14:45–15:00, HS 31

Charakterisierung mittels Plasma-Immersions-Ionenimplantation und -Deposition hergestellter DLC-Schichten — •Götz Thorwarth^1,2, Claus Hammerl², Marcus Kuhn², Walter Assmann³ und Bernd Stritzker¹ — ¹Lehrstuhl für Experimentalphysik IV, Universität Augsburg, 86135 Augsburg — ²AxynTeC Dünnschichttechnik GmbH, Am Mittleren Moos 48, 86167 Augsburg — ³Sektion Physik der LMU München, Am Coulombwall 6, 85748 Garching

Diamantähnlicher Kohlenstoff (DLC) besitzt dank seiner speziellen mechanischen, chemischen und elektrischen Eigenschaften ein großes Anwendungspotential. Die Einsetzbarkeit des Materials insbesondere im mechanischen Bereich erfordert den Einsatz großflächiger Behandlungsverfahren mit hohen Beschichtungsraten. Ein diesen Ansprüchen nahekommender Prozeß konnte auf Basis der Plasma-Immersions-Ionenimplantation und -Deposition (PIII&D) entwickelt werden. Die resultierenden Schichten wurden mittels Elastischer Rückstoßspektroskopie (ERDA), Ramanspektroskopie, verschiedener tribologischer Verfahren (Tribotest, Nanoindent, Impakt- und Scratchtest) sowie Korrosionstests charakterisiert. Der Vortrag gibt einen Überblick über die Ergebnisse und diskutiert die Abhängigkeit von den PIII&D–Prozeßparametern.