Regensburg 2004 – scientific programme

Parts | Days | Selection | Search | Downloads | Help

DS: Dünne Schichten

DS 3: Ionenimplantation III

DS 3.6: Talk

Monday, March 8, 2004, 15:45–16:00, HS 31

Ionenstrahlinduzierter Atomtransport an den Grenzflächen dünner Alkalihalogenid-Schichten — •Hartmut Paulus, Christian Dais und Wolfgang Bolse — Institut für Strahlenphysik, Universität Stuttgart

Die Arbeitsgruppe Nukleare Festkörperphysik des Instituts für Strahlenphysik der Universität Stuttgart hat in den letzten Jahren systematisch das Mischverhalten dünner Schichtpakete unter Beschuß mit schnellen Schwerionen untersucht. Bisher wurden Keramik/Keramik, Metall/Keramik und Metall/Halbleiter Systeme untersucht. Als neue Materialklasse sind jetzt die Alkalihalogenide dazu gekommen. Diese zeigen heftige Reaktionen auf den Beschuß mit schnellen Schwerionen: das Material schwillt, bildet Hügel auf der Oberfläche und weist sehr hohe, stark richtungsabhängige Sputterraten auf [1]. Diese Eigenschaften machen sie auch für eine Untersuchung hinsichtlich ihres Transportverhaltens an Grenzflächen interessant. Präsentiert werden erste Ergebnisse der Untersuchung von Alkalihalogenid-Schichten auf einem SiO₂-Substrat, die mit einer metallischen Sputterbarriere an der Oberfläche abgedeckt waren.

[1] M. Toulemonde, W. Assmann, C. Trautmann, and F. Grüner Phys. Rev. Lett., 88, 057602 (2002)