Regensburg 2004 – wissenschaftliches Programm

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HL: Halbleiterphysik

HL 44: Poster II

HL 44.26: Poster

Donnerstag, 11. März 2004, 16:30–19:00, Poster A

Elektronischer Transport in einzelnen und verzweigten Wellenleitern — •Mirja Richter¹, Michael Knop¹, Ulrich Wieser¹, Ulrich Kunze¹, Dirk Reuter² und Andreas D. Wieck² — ¹Lehrstuhl für Werkstoffe und Nanoelektronik, Ruhr-Universität Bochum, D-44780 Bochum — ²Lehrstuhl für Angewandte Festkörperphysik, Ruhr-Universität Bochum, D-44780 Bochum

Auf einer modulationsdotierten GaAs/Al_1−xGa_xAs-Heterostruktur werden einzelne und gekreuzte elektronische Wellenleiter in einem Mix-and-Match Prozess hergestellt. Der Prozess kombiniert Niederenergie-Elektronenstrahllithographie mit konventioneller Fotolithographie.

Wellenleiter mit einer Breite bis minimal 50 nm und einer Länge von einigen Mikrometern werden durch elektronische Transportmessungen bei tiefen Temperaturen charakterisiert. Die Wellenleiter zeigen quantisierten Leitwert in Vielfachen von 2e²/h und eine Separation der untersten Subbänder von bis zu 19 meV. An gekreuzten Wellenleitern kann der Knickwiderstand R₁₃₂₄ (bend resistance) im ballistischen Transportregime in Abhängigkeit von der Geometrie der Kreuzungsstelle und der Steuerspannung an der Topgateelektrode untersucht werden.