Regensburg 2004 – wissenschaftliches Programm

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HL: Halbleiterphysik

HL 44: Poster II

HL 44.69: Poster

Donnerstag, 11. März 2004, 16:30–19:00, Poster A

Züchtung von Silizium-Nanowhiskern mittels Molekularstrahlepitaxie (MBE) — •Luise Schubert, Peter Werner, Nikolai Zakharov, Gerhard Gerth, Vadim Talalaev und Ulrich Gösele — Max-Planck-Institut für Mikrostrukturphysik, 06120 Halle

Das Interesse an der Züchtung und Anwendung von Halbleiter-Nanostrukturen ist in den vergangenen Jahren stark gestiegen. Wir präsentieren die Möglichkeit, Si- Nanowhisker mittels Molekularstrahlepitaxie (MBE) erfolgreich herzustellen. Vor der Si-Abscheidung wurden die (111)-Silizium Substrate mit Gold bedampft, welches in Form von Clustern auf der Substratoberfläche als Keime für das Whiskerwachstum dient. Die bereits bekannte Wachstumstheorie, der sogenannte "vapor-liquid-solid"- Mechanismus (VLS), liegt in dieser Art der Herstellung in einer abgewandelten Form vor. Die Strukturen wurden mittels SEM und TEM analysiert. Dabei kann gezeigt werden, dass die Länge mit der Breite der Whisker korreliert. Der modifizierte VLS-Wachstumsmechanismus wird diskutiert.