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O: Oberflächenphysik

O 14: Postersitzung (Adsorption an Oberflächen, Epitaxie und Wachstum, Organische Dünnschichten, Oxide und Isolatoren, Phasenübergänge, Rastersondentechniken, Struktur und Dynamik reiner Oberflächen)

O 14.34: Poster

Montag, 8. März 2004, 18:00–21:00, Bereich C

SPA-LEED- und Leitfähigkeitsuntersuchungen an dünnen epitaktischen Silberfilmen auf Silizium — •Alexandra Goehlich und Michael Horn-von Hoegen — Institut für Laser- und Plasmaphysik, Universität Duisburg-Essen, 45117 Essen

Bei der weiterschreitenden Miniaturisierung von Halbleiterbauelementen und der Entwicklung von Nanostrukturen gewinnt neben Streuphänomenen im Volumen die Streuung von Leitungselektronen an Oberflächen immer mehr an Bedeutung. Beispielhaft soll am Modellsystem quasi freitragender dünnster epitaktischer Ag(111)-Filme auf Si(100) die Änderung der elektrischen Leitfähigkeit in Abhängigkeit von der Oberflächenmorphologie des Films studiert werden. Dazu werden bei 80K 20ML dicke Ag-Filme deponiert. Nach Tempern bei 300K bildet sich ein glatter, defektarmer Ag(111)-Film [1]. Sowohl die Rauigkeit des Films, die durch weiteres Aufdampfen bei tieferen Temperaturen gezielt von einzelnen Adatomen bis zu großen Inseln eingestellt werden kann, als auch die Bedeckung mit verschiedenen Adsorbaten beeinflußt die elektronischen Streuprozesse und wirkt sich damit auf die Leitfähigkeit des Films aus.

[1] M. Horn-von Hoegen, T. Schmidt, M. Henzler, G. Meyer, D. Winau and K.H. Rieder, Phys. Rev. B, Brief Reports 52, 10764-10767 (1995)