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O: Oberflächenphysik

O 5: Epitaxie und Wachstum I

O 5.4: Talk

Monday, March 8, 2004, 12:00–12:15, H44

Hochempfindliche Messung von Oberflächenverspannung — •Peter Kury, Peter Kury, Michael Horn-von Hoegen und Michael Horn-von Hoegen — Inst. f. Laser- und Plasmaphysik, Universität Duisburg-Essen

Die Verspannung von Oberflächen (surface stress) ist eine der wichtigsten physikalischen Größen für das Verständnis von Phänomenen im Bereich der Epitaxie. Eine Messung der Verspannung kann mit optischen Biegebalkenmethoden wie SSIOD (surface stress induced optical deflection) erfolgen, wobei ohne großen Aufwand eine Auflösung von etwa 0.2N/m erreichbar ist. Eine Steigerung der Empfindlichkeit, um Verspannungen ab 0.05N/m sicher detektieren zu können, erfordert aufwändige Änderungen des Meßaufbaus im Bereich des Detektors, des Lasersystems und der Probe. Diese Modifikationen und ihre Auswirkungen werden anhand von neuen Adsorptions- und Filmwachstumsmessungen auf Si Substraten vorgestellt.