Regensburg 2004 – scientific programme

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VA: Vakuumphysik und Vakuumtechnik

VA 1: Vakuumverfahrenstechnik

Monday, March 8, 2004, 09:30–10:50, H47

	09:30	VA 1.1	Invited Talk: Nano-fabrication with Focused Ion Beams — •Jacques Gierak, Ralf Jede, Lars Bruchhaus, Toralf Kliem, and Peter Hawkes
	10:10	VA 1.2	Vakuum am Bau: Mit Vakuum-Isolations-Paneelen Energie sparen und Platz schaffen — •Gregor Erbenich und Hans-Frieder Eberhardt
	10:30	VA 1.3	Barrier films for vacuum insulation panels (VIP) — •Dirk Kaczmarek