Regensburg 2004 – scientific programme

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VA: Vakuumphysik und Vakuumtechnik

VA 2: Vakuummessung

VA 2.4: Talk

Monday, March 8, 2004, 11:50–12:10, H47

Reduzierung der Offsetschwankung eines Gasreibungsvakuummeters mittels Schwingungsisolierung — •Thomas Bock und Karl Jousten — Physikalisch-Technische Bundesanstalt, Abbestr. 2–12, D-10587 Berlin

Die Restabbremsung (Offset) eines Gasreibungsvakuummeters ist in drei Anteile zerlegbar. Veränderungen des Offsets durch Temperatureffekte besitzen Zeitkonstanten im Minutenbereich. Streuungen des Offsets die durch Coulomb-Kräfte und Wirbelströme erzeugt werden, liegen auf kürzeren Zeitskalen. Es kann analytisch gezeigt werden, dass bei der Einkopplung von zufallsverteilten Schwingungen in das Messsystem, Coulomb-Kräfte und Wirbelströme stochastischen Charakters entstehen. Daraus resultiert eine stochastische Energiedissipation die zu einer zusätzlichen Offsetstreuung führt. Zur Reduzierung der Vibrationen am Messsystem wurde eine Schwingungsisolierung konstruiert. Es wurden diverse Konfigurationen (z.B. Messkopf schwingungsisoliert, Rotor nicht schwingungsisoliert: C1, Messkopf und Rotor schwingungsisoliert: C2) getestet und Datensätze generiert, die Zeit, Rotorfrequenz, ω/ω und Temperatur des Messfingers mit einer Messzeit von 30 s beinhalten. Weiterhin wurden Geräte mit verschiedenen Messparametern (z.B. Rotor- und Messfingerdurchmesser, Einzelstreuung (SSC)) auf die Reduzierbarkeit der Offsetstreuung untersucht. Die Konfiguration C2 weist eine signifikant kleinere Offsetstreuung als C1 auf. Durch die Schwingungsisolierung konnte die Varianz der Streuung der Restabbremsung um bis zu einem Faktor 4 verringert werden.