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VA: Vakuumphysik und Vakuumtechnik

	Mo, 09:30–10:50	H47	VA 1: Vakuumverfahrenstechnik
	Mo, 10:50–12:30	H47	VA 2: Vakuummessung
	Mo, 14:30–15:40	H47	VA 3: Geschichte und Entwicklung der Vakuumphysik