Berlin 2005 – scientific programme

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AIW: Ausschuss Industrie und Wirtschaft

AIW 1: Einstein in der Industrie - Von der Idee zur Anwendung

AIW 1.4: Talk

Monday, March 7, 2005, 11:30–11:50, TU H3005

Zur Rolle der Optik und Optoelektronik in der Halbleiterindustrie — •Reinhard März — Infineon Technologies AG, Otto-Hahn Ring 6, 81739 München

Die moderne Kommunikations- und Informationstechnik, insbesondere das Internet, hat weite Bereiche der Gesellschaft erfasst und zu teilweise tiefgreifenden Veränderungen geführt. Bei der Bewältigung der explosionsartig wachsenden Datenraten zu moderate Preise spielte die Glasfaser und die zu ihrem Betrieb notwendigen optischen und optoelektronischen Komponenten eine Schlüsselrolle. Durch Einsatz multifrequenter Übertragungsverfahren (WDM=Wavelength Division Multiplex) und der dafür benötigten Halbleiterlaser, Verstärker und optischer Filter konnte die Bitrate/Faser bis auf Rekordwerte von bis zu 10 TBit/s gesteigert werden. Parallel zu diesen, in der Öffentlichkeit stark wahrgenommenen Einsatzgebiet, wurde durch LEDs die Beleuchtungstechnik revolutioniert. So finden sich in moderne Kraftfahrzeugen mehrere hundert LEDs, Verkehrsampeln und Straßenbeleuchtung werden auf die neue Technologie umgestellt. Schließlich spielt die optische Lithographie bei der Herstellung integrierter Schaltungen eine mit jeder Chipgeneration steigende Rolle. SO erlauben moderene Lithographieverfahren mittlerweile die Belichtung von Strukturen, die weit kleiner als eine Wellenlänge sind.