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DS: Dünne Schichten
DS 7: Ionenstrahlverfahren I
DS 7.3: Vortrag
Samstag, 5. März 2005, 14:45–15:00, TU HS107
Sauerstoffdiffusion und Phasenbildung in dünnen Eisenoxidschichten unter Bestrahlung mit schnellen schweren Ionen — •Tobias Roller, Tilman Joachim Renz, Hartmut Paulus und Wolfgang Bolse — Institut für Strahlenphysik, Universität Stuttgart
Die Bestrahlung von Eisenoxid-Schichtsystemen mit hochenergetischen schweren Ionen (MeV/amu) führt zu einer Verlagerung von Sauerstoff und der Bildung neuer Oxidphasen in unterschiedlichen Tiefen der Probe. So wurde z.B. an unterstöchiometrischen FeOx-Schichten (x<1) bei deren Bestrahlung mit 350 MeV Au26+-Ionen beobachtet, dass der oberflächennahe Bereich oxidiert und die darunter liegende Schicht teilweise reduziert wird. Mit zunehmender Bestrahlungsfluenz wandert die Grenze zwischen diesen Bereichen in größere Tiefen.
Zur Untersuchung der Phänomene wurden Rutherford Backscattering Spectroscopy (RBS), Elastic Recoil Detection Analysis (ERDA) und Mößbauerspektroskopie eingesetzt. Mit Hilfe von isotopisch markierten Schichten (18O, 16O) wurde die Herkunft des Sauerstoffs genauer untersucht.