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HL: Halbleiterphysik

HL 58: Poster IIb

HL 58.70: Poster

Tuesday, March 8, 2005, 16:30–19:00, Poster TU F

Elektrische Charakterisierung einzelner Silizium und Silizium/Germanium Heterostruktur- Nanodrähte — •Frank Fleischer, Jan Bauer, Luise Schubert, Peter Werner und Margit Zacharias — Max-Planck-Institut für Mikrostrukturphysik, Weinberg 2, 06120 Halle

Für die angestrebte technologische Verwendung von Nanomaterialien ist die elektrische Charakterisierung einzelner Nanoobjekte unumgänglich. Die Kontaktierung einzelner Nanodrähte wurde mit Hilfe eines Nanomanipulators im SEM mittels Pt/Ir-Spitzen von rund 60nm realisiert. Es wurden die elektrischen Eigenschaften einzelner freistehender als auch liegend angeordneter Si und Si/Ge Nanodrähte gemessen.

Es wurde eine Methodenkombination aus der Rasterelektronenmikroskopie und EBIC (electron beam induced current) angewandt, um Grenzregionen unterschiedlicher Bandstrukturen direkt sichtbar zu machen, z. B. zwischen semi-isolierenden bzw. dotierten Nanodrähten und dem Substrat. Die Messungen werden am Beispiel von Drähten mit einem Durchmesser kleiner 200nm demonstriert.