Berlin 2005 – scientific programme

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MA: Magnetismus

MA 11: FV-internes Symposium ”Applied Magnetism” (Organizers: R. Hilzinger, H. Huneus, J. Wecker)

MA 11.2: Invited Talk

Saturday, March 5, 2005, 09:30–10:00, TU H1028

Magnetoresistive Sensoren: Applikationen, Technologien und industrielle Umsetzung — •Jan Marien — naomi technologies AG, Hechtsheimer Str. 2, 55131 Mainz

Sensoren auf der Basis magnetoresistiver Effekte werden heute in einer Vielzahl von Applikationen eingesetzt und sind in großer Stückzahl im Einsatz. Dabei machen Sensoren auf der Basis des anisotropen MR Effektes den größten Teil des Marktes aus. Wenngleich der physikalische Effekt bereits seit über 100 Jahren bekannt ist, werden für einzelne Applikationen auch heute noch durch gezielte Beeinflussung von Schichteigenschaften neuartige Anwendungsbereiche erschlossen.

Darüber hinaus spielt die Zuverlässigkeit von Sensoren eine herausragende Rolle für den technologischen Erfolg. Hierfür sind vor allem geeignete Diffusionsbarrieren nötig, die eine Eindiffusion von Leiterbahnmaterialien in die MR Schicht verhindern.

Durch den Einsatz von Schichtsystemen, die auf dem gigantischen Magnetowiderstandseffekt (GMR) beruhen, wird der Einsatzbereich von magnetoresistiven Sensoren noch einmal wesentlich erweitert. Diese Schichten lassen sich bezüglich ihrer magnetischen Eigenschaften in einem sehr weiten Bereich anwendungsspezifisch entwickeln. Es werden in diesem Vortrag Beispiele von GMR-Sensoren gezeigt, die sich bereits in der Serienfertigung befinden.