Berlin 2005 – scientific programme

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MA: Magnetismus

MA 20: Poster:Schichten(1-29),Spintrsp(30-45),Ex-Bias(46-63),Spindyn(64-75),Mikromat.(76-80),Cluster(81-94),Abbv.(95-99),Obflm(100-02),SpElek.(103-09),E-Theo(110-14),Mikromag.(115-16),Spin+PÜ(117-26),Mag.Mat.(127-51),Meth.(152-55),Mol.Mag(156-59),Kondo(160-65

MA 20.30: Poster

Monday, March 7, 2005, 14:00–18:00, Poster TU C

Magnetische sub-mikrometer Tunnelstrukturen in Logikgattern — •Dirk Meyners¹, Hubert Brückl¹, Günter Reiss¹, Nils Wiese^1,2 und Joachim Wecker² — ¹Universität Bielefeld, Fakultät für Physik, Universitätsstr. 25, D-33615 Bielefeld — ²Siemens AG Corporate Technology, CT MM 1, Paul-Gossen-Str. 100, 91052 Erlangen Siemens

Der Einsatz magnetischer Tunnelstrukturen in logischen Bauteilen erscheint aufgrund der Nichtflüchtigkeit gespeicherter Information, hoher Integrationsdichte und schneller Programmierbarkeit vielversprechend. Dazu notwendig sind Tunnelstrukturen mit reproduzierbarem Schaltverhalten sowie geringer Fluktuation in Widerstand und TMR-Amplitude. Die mittels EBL elliptisch strukturierten Elemente mit einer lateralen Ausdehnung kleiner 0.04µm² sind daher auf Zellpaarigkeit untersucht worden, um Aufschluß über Ursprung und Stärke jener Fluktuation zu erhalten. Die untersuchten Schichtsysteme bestehen neben elektrischen Zuleitungen aus der Schichtfolge MnIr 10.8/ CoFe 2.3/ Al 1 plasmaoxidiert/ NiFe 5 (in nm) bzw. PtMn 25/ CoFe 3/ Ru 9/ CoFe 2.8/ Al 1.2 plasmaoxidiert/ CoFeB 4. Die Funktion bereits realisierter Logikgatter mit einer Gesamtausdehnung von 10x10µm² wird gezeigt.