P 11: Niedertemperaturplasmen / Plasmatechnologie 5
Samstag, 5. März 2005, 11:00–12:45, HU 3038
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11:00 |
P 11.1 |
Fachvortrag:
Phase resolved optical emission spectroscopy in radio frequency excited plasmas — •Timo Gans, Deborah O’Connell, Victor Kadetov, Julian Schulze, Tobias Kampschulte, and Uwe Czarnetzki
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11:30 |
P 11.2 |
Ion dynamics in plasma boundary sheaths of radio-frequency discharges operated with multiple frequencies — •Deborah O’Connell, Roberto Zorat, Miles Turner, and Bert Ellingboe
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11:45 |
P 11.3 |
Study of neutral loop discharge (NLD) plasma via PIC simulation — •Murat Vural and Ralf Peter Brinkmann
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12:00 |
P 11.4 |
Anwendung spektroskopischer Methoden zur Charakterisierung HF–angeregter negativer Ionenquellen (H−/D−) — •S. Riegg und U. Fantz
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12:15 |
P 11.5 |
Spektroskopische Untersuchungen an einem mikrowellenerzeugten Luftplasma — •J. Happold, J. Krüger, P. Lindner, A. Schulz, R. Stirn, U. Stroth und M. Walker
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12:30 |
P 11.6 |
Untersuchungen zur Plasma-Oberflächen-Wechselwirkung beim Ätzen von Si mit einem Ar/SF6/O2-Plasmajet — •Thomas Arnold und Axel Schindler
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