Berlin 2005 – wissenschaftliches Programm

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P: Plasmaphysik

P 14: Poster: Niedertemperaturplasmen / Plasmatechnologie 6, Diagnostik 4

P 14.12: Poster

Samstag, 5. März 2005, 14:45–16:45, Poster HU

Elektromagnetische Effekte in kapazitiv gekoppelten Niedertemperaturplasmen — •Thomas Mussenbrock, Torben Hemke und Ralf Peter Brinkmann — Ruhr-Universität Bochum, Lehrstuhl für Theoretische Elektrotechnik, D-44780 Bochum, Germany

Kapazitiv gekoppelte Niedertemperaturplasmen (CCPs) sind unter anderem bei der Fabrikation mikroelektronischer Schaltungen zu einem wichtigen Werkzeug geworden. Die Kontrolle, Steuerung und Regelung der entsprechenden Plasmaprozesse kann auf Grund der besonderen Anforderungen, die das industrielle Umfeld stellt, häufig nur auf der Basis adäquater Modell-basierter Plasmadiagnostikmethoden realisiert werden. Bei der entsprechenden Modellierung von CCPs beschränkt man sich oft auf die elektrostatische Näherung der Maxwell-Gleichungen. Allerdings ist insbesondere auf Grund der immer größer werdenden Plasmareaktoren und Betriebsfrequenzen zu hinterfragen, ob diese Näherung ihre Gültigkeit behält oder ob nicht der volle Satz der Maxwell-Gleichungen bei der Modellbildung zu berücksichtigen ist [1]. Der vorliegende Beitrag nimmt sich dieser Fragestellung an. Er diskutiert exemplarisch den in CCPs zu beobachtenden Skin-Effekt, der in gewissen Regimen einen nennenswerten Einfluss auf die durch die zu Grunde liegende Modell-basierte Diagnostikmethode ermittelten Plasmaparameter zeigt und somit möglicherweise nicht unberücksichtigt bleiben darf.

[1] T. Mussenbrock, Dissertation, Ruhr-Universität Bochum, 2004