Berlin 2005 – scientific programme

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P: Plasmaphysik

P 14: Poster: Niedertemperaturplasmen / Plasmatechnologie 6, Diagnostik 4

P 14.13: Poster

Saturday, March 5, 2005, 14:45–16:45, Poster HU

Messung der H₃⁺-Dichte in einer Oberflächenwellenentladung mittels Cavity-Ringdown-Spektroskopie — •M. Berger^1,2 und U. Fantz^1,2 — ¹Lehrstuhl für Experimentelle Plasmaphysik, Institut für Physik, Universität Augsburg, 86135 Augsburg — ²Max-Planck-Institut für Plasmaphysik, EURATOM Assoziation, 85748 Garching

Die Kenntnis der Ionenzusammensetzung in wasserstoffdominierten Plasmen ist für eine Vielzahl von Anwendungen von Interesse. Sie beeinflusst sowohl die Reaktionskinetik von Schwerteilchenprozessen im Volumen, als auch die Erosions- und Depositionsausbeute an Oberflächen. Mit Hilfe von wellenlängenaufgelöster Cavity-Ringdown-Spektroskopie kann die Linienabsorption von H₃⁺ mit hoher Empfindlichkeit gemessen werden, so dass dadurch eine nicht-invasive spektroskopische Methode zur Dichtebestimmung dieser Ionensorte gewonnen werden kann. Vorgestellt werden ein modulares transportables System zur Cavity-Ringdown-Spektroskopie an H₃⁺ und erste Testmessungen an einer Oberflächenwellenentladung. Die Ergebnisse werden diskutiert und mit Modellierungen verglichen.