Berlin 2005 – wissenschaftliches Programm

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P: Plasmaphysik

P 3: Diagnostik 1

P 3.1: Fachvortrag

Freitag, 4. März 2005, 11:00–11:30, HU 3059

Massenspektrometrie an reaktiven Plasmen — •Thomas Schwarz-Selinger — Max-Planck-Institut für Plasmaphysik, Euratom Association, 85748 Garching

Der Vortrag versucht einen kurzen Überblick zu geben, welche Herausforderungen bei der quantitativen Analyse von reaktiven Plasmen zu überwinden sind, und gibt anhand von Beispielen Lösungsansätze. Für den Fall von Neutralgas-Massenspektren wird ein Algorithmus vorgestellt, der die konsistente Zerlegung von komplexen Massenspektren in die einzelnen Signalanteile mit Hilfe der Bayesschen Datenanalyse erlaubt. Die Vor- und Nachteile der Standard-Massenspektrometrie beim Nachweis von Radikalen gegenüber der Ioniasationsschwellen-Massenspektrometrie werden an einigen Beispielen gezeigt. Kalibriermethoden für Neutralgas- und Ionen-Massenspektrometrie werden vorgestellt. In diesem Zusammenhang werden die Transmissionseigenschaften der Einzelelemente eines QMS-Gesamtsystems diskutiert. Oftmals sind die Nachweisgrenzen der Massenspektrometrie jedoch nicht durch die Geräte selbst verursacht, sondern durch die Art und Weise, wie die Geräte in den Plasmaprozess integriert sind. Deshalb werden die Grundlagen der Molekularstrahl-Massenspektrometrie vorgestellt. Eine wichtige Rolle spielt dabei die Extraktion der nachzuweisenden Teilchen und die Auslegung des Vakuumssystems.