Berlin 2005 – wissenschaftliches Programm

Bereiche | Tage | Auswahl | Suche | Downloads | Hilfe

P: Plasmaphysik

P 3: Diagnostik 1

P 3.5: Vortrag

Freitag, 4. März 2005, 12:15–12:30, HU 3059

Untersuchungen von Mikrowellen-angeregten Plasmen mit Laser-induzierter Fluoreszenz — •Ulrich Stopper, Peter Lindner und Uwe Schumacher — Institut für Plasmaforschung, Universität Stuttgart, Pfaffenwaldring 31, 70569 Stuttgart

Zum Verständnis des Mikrowellen-angeregten Plasmas ist die räumliche Verteilung von Temperatur und Dichte der Ionen und Neutralen von großer Bedeutung. Passive Spektroskopieverfahren, wie die Emissions- oder die Absorptionsspektroskopie, bringen dabei allerdings den Nachteil mit sich, dass die zu untersuchende Strahlung über die optische Sichtlinie integriert wird und deshalb auf direktem Weg keine räumliche Auflösung erreicht werden kann. Selbst bei symmetrischen Plasmen erhält man die Informationen über die räumliche Verteilung erst nach der Anwendung von Entfaltungsalgorithmen. Die Laser-induzierte Fluoreszenz (LIF) vermag als aktives Verfahren dagegen direkt eine hervorragende räumliche und zeitliche Auflösung wichtiger Parameter wie Teilchendichten und Teilchentemperaturen eines Plasmas zu liefern. Die hier vorgestellte Arbeit befasst sich mit dem Aufbau und der Erprobung einer LIF-Diagnostik an einem Mikrowellen-geheizten Plasma. Unter anderem werden die räumliche Verteilung der Temperatur und der Dichte in Argon- und Siliziumplasmen gemessen.