Berlin 2005 – wissenschaftliches Programm
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P: Plasmaphysik
P 7: Poster: Niedertemperaturplasmen / Plasmatechnologie 3, Diagnostik 3
P 7.10: Poster
Freitag, 4. März 2005, 16:30–18:30, Poster HU
Entwicklung einer Helikonentladung mit helischer Hochfrequenzeinkopplung — •Michael Krämer, Bernd Clarenbach und Bernd Lorenz — Experimentalphysik II, Ruhr-Universität Bochum
Die Entwicklung der gepulsten Helikonentladung HE-L (rp = 73 mm, lp = 1,1 m, PHF < 2 kW, fHF = 13,56 MHz, ne < 2× 1019 m−3, Te ≈ 3 eV, B0 < 0,1 T, p = 0,2 − 0,5 Pa Argon) wurde durch emissionsspektroskopische Messungen der Argonatom- und Argonionenlinien mit Lichtleitersonden, 4mm-Mikrowelleninterferometrie sowie Langmuir- und HF-Magnetfeldsondendiagnostik untersucht. Charakteristisch für das durch eine helische Antenne erzeugte Plasma ist die axiale Asymmetrie, die auf die bevorzugte Anregung der m=+1-Helikonmoden zurückzuführen ist. Zur Untersuchung der Elektronenheizung durch die m=+1-Helikonmode wurde eine Doppelpulstechnik angewendet (Plasma erzeugender HF-Hauptpuls gefolgt von HF-Messpuls im Afterglow). Der gemessene Anstieg der Elektronentemperatur kann durch Heizung im Hauptteil der EEDF erklärt werden. Speziell wurde auch das von einigen Autoren vorgeschlagene Elektrontrapping untersucht. Für typische Entladungparameter kann ein solcher stoßloser Heizprozess allenfalls in der frühen Phase der Entladung erwartet werden, wenn die Phasengeschwindigkeit der Helikonwelle noch so groß ist, dass die Energie der resonanten Elektronen im Bereich der Anregungsenergie einer kurzlebigen Ar+ Linie liegt. Eine zeitliche Modulation der Linienintensität auf der Zeitskala der Anregungsfrequenz wurde jedoch nicht beobachtet.
Gefördert von der DFG (SFB 591, Projekt A7)