Berlin 2005 – wissenschaftliches Programm
Bereiche | Tage | Auswahl | Suche | Downloads | Hilfe
P: Plasmaphysik
P 7: Poster: Niedertemperaturplasmen / Plasmatechnologie 3, Diagnostik 3
P 7.12: Poster
Freitag, 4. März 2005, 16:30–18:30, Poster HU
Entwicklung gepulster Plasmen in Argon und Argon-Sauerstoffgemischen — •M. Katsch1, B. Clarenbach2, W. Kaiser2, M. Krämer2, B. Lorenz2 und J.A. Wagner1 — 1Experimentalphysik, Universität Duisburg-Essen — 2Experimentalphysik II, Ruhr-Universität Bochum
An einer großvolumigen Diffusionskammmer wurden Plasmen in Argon und Argon-Sauerstoffgemischen (dch = 60 cm, lch = 80 cm, ne ≈ 1018 m−3, Te ≈ 2 eV) untersucht. Das gepulste Plasma (τpulse = 3−8 ms, fpulse = 25/50 Hz, PRF < 2 kW, fRF = 13.56 MHz), das aus der Helikonquelle HE-L mit helischer HF-Einkopplung gespeist wird, kann alternativ durch eine magnetiche Flaschenkonfiguration oder ein Cuspfeld in der Kammer eingeschlossen werden. Eine Multipolmagnetfeldanordnung (10 Permanentmagnetringe, Δ z= 8 cm, d = 54 cm) dient der zusätzlichen Reduzierung der radialen Teilchenverluste. Die Plasmaentwicklung im Afterglow, insbesondere die Erzeugung negativer Ionen mit dem Übergang in ein reines Ionen-Ionen-Plasma, wird mit Standarddiagnostiken (Langmuirsondendiagnostik, 1 mm Interferometrie, Emissionsspektroskopie) studiert. Erste Messungen im Afterglow von Argon-Sauerstoffplasmen unterscheiden sich deutlich von Argonentladungen: Die Elektronendichte nimmt wesentlich schneller ab als die Dichte der positiven Ionen, was sich durch den Einschluss negativer Sauerstoffionen erklären lässt. Außerdem beobachtet man ein wesentlich längeres Afterglowleuchten, das auf die gegenseitige Neutralisation negativer Sauerstoffionen mit atomaren positiven Sauerstoffionen zurückzuführen ist.
Gefördert von der DFG (SFB 591, Projekt A7)