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Berlin 2005 – wissenschaftliches Programm

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P: Plasmaphysik

P 7: Poster: Niedertemperaturplasmen / Plasmatechnologie 3, Diagnostik 3

Freitag, 4. März 2005, 16:30–18:30, Poster HU

16:30 P 7.1 Aufbau und Charaterisierung eines homogenen ECR Plasmas — •S. Dietrich und U. Fantz
16:30 P 7.2 Massenspektrometrische Analyse von Ionen und Neutralen in Fluorkohlenstoff-Entladungen — •Martin Polak, Martin Geigl und Jürgen Meichsner
16:30 P 7.3 Study of the chemical composition in methane discharges by means of tunable diode laser absorption spectroscopy — •A. Serdioutchenko, I. Möller, and H. Soltwisch
16:30 P 7.4 On The Application of the Quantum Cascade Laser-Absorption Spectroscopy for Plasma Process Monitoring — •Frank Hempel, Sven Glitsch, Jürgen Röpcke, and Stephan Saß
16:30 P 7.5 Investigation of the laser and probe induced disturbances of gas discharge. — •Christian Brandt, Holger Testrich, Ruslan Kozakov, and Christian Wilke
16:30 P 7.6 Time resolved measurements of transient and stable fluorocarbon species in pulsed rf discharges using IR Tuneable Diode Laser Absorption Spectroscopy (IR-TDLAS) — •Onno Gabriel, Serguei Stepanov, Konstantin Li und Jürgen Meichsner
16:30 P 7.7 Phasenaufgelöste optische Emission von CF2 und C im CF4/H2-RF-Plasma. — •Dmitry Drozdov, Bert Krames und Jürgen Meichsner
16:30 P 7.8 Investigation of DC magnetron generated plasma by means of Langmuir probe — •Vítězslav Straňák, Josef Blažek, Hartmut Steffen, Stefan Wrehde, Milan Tichý, and Rainer Hippler
16:30 P 7.9 EZR-Heizung einer linearen Helikon-Entladung — •Jacob Zalach, Olaf Grulke und Thomas Klinger
16:30 P 7.10 Entwicklung einer Helikonentladung mit helischer Hochfrequenzeinkopplung — •Michael Krämer, Bernd Clarenbach und Bernd Lorenz
16:30 P 7.11 Parametricher Helikonwellenzerfall in einer Helikonentladung — •M. Krämer, B. Clarenbach, B. Lorenz, V.L. Selenin und Yu.M. Aliev
16:30 P 7.12 Entwicklung gepulster Plasmen in Argon und Argon-Sauerstoffgemischen — •M. Katsch, B. Clarenbach, W. Kaiser, M. Krämer, B. Lorenz und J.A. Wagner
16:30 P 7.13 Investigations of short-scale fluctuations in a helicon plasma — •M. Krämer, A.B. Altukhov, E.Z. Gusakov, M.A. Irzak, V.L. Selenin, and B. Lorenz
16:30 P 7.14 Fundamental investigations on a magnetic neutral loop radio frequency discharge — •Dragos Liviu Crintea, Deborah O’Connell, Martin Brennscheidt, Tobias Kampschulte, Julian Schulze, Timo Gans, and Uwe Czarnetzki
16:30 P 7.15 Experimental investigations of radio frequency plasma boundary sheath dynamics — •Brian Heil, Deborah O’Connell, Timo Gans, and Uwe Czarnetzki
16:30 P 7.16 Probe Measurements of the wave field — •Y.Y. Podoba, K. Horvath, H.P. Laqua, J. Lingertat, M. Otte, F. Wagner, and E. Holzhauer
16:30 P 7.17 Eine Plasmaabsorptionssonde zur Messung der Elektronendichte — •Christian Scharwitz, Marc Böke und Jörg Winter
16:30 P 7.18 Lasergeheizte emissive Sonden — •A. Vogelsang, O. Grulke und T. Klinger
16:30 P 7.19 Line-integrated electron density measurements in a low-temperature argon plasma by the nested-cavity FIR laser interferometer — •Carsten Pargmann, Vikram Singh, Philipp Kempkes, and Henning Soltwisch
16:30 P 7.20 Plasma Diagnostics in the Near-Cathode Region of a Free-Burning Arc — •Gerrit Kühn und Manfred Kock
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