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P: Plasmaphysik

P 8: Niedertemperaturplasmen / Plasmatechnologie 4

P 8.4: Vortrag

Samstag, 5. März 2005, 09:30–09:45, HU 3038

Untersuchung der Bildung von a-C:H Schichten in einem stationären Plasma — •Werner Bohmeyer¹, Dirk Naujoks², Bernd Koch¹ und Gerd Fußmann¹ — ¹Humboldt Universität Plasmaphysik Newtonstr.15 12489 Berlin — ²IPP Griefswald Wendelsteinstr.1 17491 Greifswald

Kohlenwasserstoffschichten haben für die Fusionsforschung eine zentrale Bedeutung, weil in ihnen eingelagertes Tritium zu einer unakzeptablen Konzentration dieses radioaktiven Elements führen kann. Das stationäre Plasma des Plasmagenerators PSI-2 wird für die Untersuchung der Bildung derartiger Schichten verwendet. Dazu wird Methan oder Ethen in definierten Mengen ins Plasma injiziert. Die Schichtbildung auf einem temperaturgeregelten Kollektor wird in situ gemessen. Der Grad der Umsetzung der injizierten Kohlenwasserstoffe wird wesentlich durch die Elektronendichte bestimmt. In Wasserstoffentladungen gibt es einen Konkurrenzprozeß zur Schichtbildung: die Erosion durch atomaren Wasserstoff. Während der Depositionsprozess in einem weiten Bereich von der Temperatur des Kollektors unabhängig ist, ist die Erosion hiervon stark abhängig. In Argonentladungen tritt diese Erosion nicht auf und es ergeben sich beste Voraussetzungen für einen quantitativen Vergleich mit einer Monte Carlo-Modellierung (ERO- Code).Die Ergebnisse eines derartigen Vergleiches werden vorgestellt.