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T: Teilchenphysik

T 303: Halbleiterdetektoren II

T 303.9: Vortrag

Freitag, 4. März 2005, 18:30–18:45, TU H112

Elektrochemische Veränderungen von Funktionselementen von Siliziumstreifensensoren — •Martin Frey¹, Günter Beuchle², Jean-Charles Fontaine³, Alexander Furgeri¹, Frank Hartmann¹ und Thomas Müller¹ — ¹Institut für Experimentelle Kernphysik, Universität Karlsruhe — ²Institut für Technische Chemie, Forschungszentrum Karlsruhe — ³Institut de Recherches Subatomiques, Strasbourg

Die hoch strahlungsfesten Silizium-Streifensensoren für den Spurdetektor des CMS-Experimentes werden bei einer Spannung von 400 V betrieben. Dies erfordert ein spezielles Sensordesign und eine hohe Reinheit bei der Fertigung. Eines der für die Spannungsfestigkeit wichtigen Elemente ist der Metall-Überhang der Auslesestreifen und des Guard- und Biasringes, die für die Feldformung und die Spannungsversorgung zuständig sind. Wird dieser Metall-Überhang beschädigt, kann es zu Stromdurchbrüchen kommen. Bei einigen Sensoren wurden nach einem Betriebs-Test von 24 Stunden, Veränderungen des Aluminiums beobachtet. Der Vortrag gibt einen Überblick über das Ausmaß und die Ursachen der chemischen Veränderungen, über die Bedingungen unter denen sie sich entwickeln, sowie über Ergebnisse einer Analyse mittels Elektronenstrahlspektroskopie.