Berlin 2005 – scientific programme

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VA: Vakuumphysik und Vakuumtechnik

VA 4: Vakuumverfahren und Komponenten 2

VA 4.2: Talk

Monday, March 7, 2005, 16:05–16:25, TU E20

Positioniersysteme im Vakuum — •Reinhard Weihmann — 01259 Dresden, Fritz-Schreiter-Str. 32

Dipl.-Ing. (TU) Reinhard Weihmann Feinmess Dresden GmbH

Verschiedene technologische Verfahren in der Mikroskopie, Beschichtung oder Abscheidung erfolgen in einer Vakuumumgebeung. Zunehmend ist es erforderlich die Objekte innerhalb einer Vakuumkammer zu positionieren. Dabei sind Linear- und Drehbewegungen zu realisieren. Bei der Auswahl von geeigneten Positioniersystemen sind das technologische Verfahren, die Anforderungen an die Positionierung, das zu positionierende Objekt, die Höhe des Vakuums und die geometrischen Bedingungen der Anlagen ausschlaggebend. Die Feinmess Dresden GmbH hat in Zusammenarbeit mit Anwendern von Vakuumanlagen zugeschnittene Positioniersysteme entwickelt und gefertigt. Dabei kamen je nach Anwendungsfall unterschiedliche Antriebs-, Führungs- und Feedbacksysteme zum Einsatz.