Berlin 2005 – scientific programme

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VA: Vakuumphysik und Vakuumtechnik

VA 5: Vakuumsysteme und Kalibrierung

VA 5.3: Talk

Tuesday, March 8, 2005, 11:00–11:20, TU E20

Ein einfaches Modell zur Berechnung der Kompression von klassischen Turbo-Molekularpumpen — •Gerhard Voss — LEYBOLD Vacuum, Bonner Str. 498, 50968 Köln

Es wird ein Modell vorgestellt, das es erlaubt, die Kompression von klassischen Turbo-Molekularpumpen in einfacher Weise zu berechnen.

Das Modell basiert auf einer Differentialgleichung, deren Lösung p(x) den Druck-Verlauf innerhalb der Turbo-Molekularpumpe beschreibt. Dabei wird angenommen, dass sich die Turbo-Molekularpumpe zwischen der Ebene des Hochvakuum-Flansches (x = 0) und der Ebene des Vorvakuum-Flansches (x = L) erstreckt. Die Länge L wird als effektive Länge der Pumpe verstanden. Das in den Hochvakuum-Flansch eintretende Gas wird im Innern der Turbo-Molekularpumpe vom Hochvakuum-Druck pHV = p(x = 0) auf den Vorvakuum-Druck pFV = p(x = L) komprimiert. Bei vorgegebenem Gas-Durchsatz Q und vorgegebenem Vorvakuum-Druck liefert das Verhältnis p(x = L)/p(x = 0) die Kompression.

Der Vergleich mit experimentellen Daten zeigt, dass das vorgestellte Modell eine exzellente quantitative Beschreibung der beobachteten Phänomene liefert.