Berlin 2005 – scientific programme

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VA: Vakuumphysik und Vakuumtechnik

VA 5: Vakuumsysteme und Kalibrierung

VA 5.6: Talk

Tuesday, March 8, 2005, 12:00–12:20, TU E20

Gasanalyse mittels Infrarot Spektroskopie im Vakuum — •Alexander Mahr — MKS Instruments Deutschland GmbH Schatzbogen 43 81829 München

Infrarotspektroskopie bei Atmosphärendruck ist in der Umweltanalytik weit verbreitet, hat aber auch in der Abgasanalytik von Vakuumprozessen speziell in der Halbleiterindustrie Einzug gefunden. Diese Analysen finden für gewöhnlich ebenfalls bei Atmosphärendruck nach Zumischung von Stickstoff statt. Hier wird ein FTIR Spektrometer zur Prozessüberwachung auch für den Vakuumbereich vorgestellt, welches in die Abgasleitung des Prozesses direkt integriert wird. Es werden die Möglichkeiten, aber auch die Grenzen diese Methode besprochen.