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K: Kurzzeitphysik

K 10: Laseranwendungen und Lasermaterialbearbeitung

K 10.5: Vortrag

Donnerstag, 30. März 2006, 13:15–13:30, 1003

Submikrometermaterialbearbeitung mit geformten Femtosekunden-Laserpulsen — •Lars Englert, Matthias Wollenhaupt, Lars Haag, Ronja Bäumner, Cristian Sarpe-Tudoran und Thomas Baumert — Universität Kassel, Institut für Physik und CINSaT, Heinrich-Plett-Str. 40, D-34132 Kassel, Germany

Materialbearbeitung durch Femtosekunden-Laserpulse führt bei einer Vielzahl von Materialen zu deterministischen Strukturen im Submikrometerbereich.

Mittels eines modifizierten Mikroskopieaufbaus wird der Einfluss von Pulsformung von Femtosekunden-Laserpulsen auf den Ablationsvorgang von Quarzglas und Saphir untersucht. Während der Materialbearbeitung auftretendes laserinduziertes Plasmaleuchten wird per Spektrometer und ICCD-Kamera erfasst [1, 2]. Zur Variation der zeitlichen Energiestromdichteverteilung wird ein spektraler Phasenmodulator [3] eingesetzt. Post-Mortem Analysen wurden mit Elektronenmikroskop und AFM durchgeführt. Die experimentellen Ergebnisse werden dargelegt und diskutiert.

[1] Assion et al. Appl. Phys. B 77, 391-397 (2003)

[2] Carr et al. Opt. Lett. 30 (6), 661-663 (2005)

[3] Präkelt et al. Rev. Sci. Instr. 74 (11), 4950-4953 (2003)