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P: Plasmaphysik

P 15: Diagnostik 2; Niedertemperaturplasmen / Plasmatechnologie 5; Plasma-Wand Wechselwirkung 1

P 15.14: Poster

Dienstag, 28. März 2006, 17:00–19:00, Flure

HF-Entladungsplasma mit statischem Quadrupolfeld — •Teske Christian, Iberler Marcus und Jakoby Joachim — Universität Frankfurt, Institut für Angewandte Physik

Am IAP in Frankfurt wird ein neuartiges Konzept zum magnetischen Einschluss einer HF-Entladung untersucht. Hierbei handelt es sich um ein HF-angeregtes Argon-Plasma, das durch ein zeitlich homogenes magnetisches Quadrupolfeld eingeschlossen wird. Generiert wird das Plasma über eine Induktionsspule, unter Verwendung eines abstimmbaren HF-Generators mit einer maximalen Ausgangsleistung von 300W. Zielsetzung der Messreihe ist es, die Güte des magnetischen Einschlussverfahrens über die erzielte Elektronhendichte ne und Elektronentemperatur Te zu quantifizieren. Die Determination der Plasmaparameter ne und Te erfolgt hierbei über spektroskopische Untersuchungen der Emissionslinien. Erste Messergebnisse ergaben Plasmadichten von 1014cm-3 und Elektronentemperaturen von 1.2eV bei einem Gasdruck von 2Pa.