Augsburg 2006 – scientific programme

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P: Plasmaphysik

P 15: Diagnostik 2; Niedertemperaturplasmen / Plasmatechnologie 5; Plasma-Wand Wechselwirkung 1

P 15.17: Poster

Tuesday, March 28, 2006, 17:00–19:00, Flure

Nichtlokale Elektronenkinetik im Afterglowplasma bei niedrigem Druck — •Detlef Loffhagen, Sergey Gorchakov und Dirk Uhrlandt — INP Greifswald, F.-L.-Jahn-Str. 19, 17489 Greifswald

Gepulste Niederdruckplasmen finden Anwendung sowohl als Lichtquellen als auch in der Plasmaprozesstechnik. Ihre Charakteristika werden erheblich auch durch Prozesse im Afterglow nach Abschalten der Leistungszufuhr beeinflusst. Bei niedrigem Druck bestimmt das Verhalten der Elektronenkomponente im Wesentlichen die Eigenschaften des Plasmas. Im Rahmen dieses Beitrags werden theoretische Untersuchungen zur Elektronenkinetik in der Afterglowphase einer induktiv gekoppelten Entladung vorgestellt. Zur Beschreibung des abklingenden Plasmas wurde ein selbstkonsistentes Modell entwickelt, das auf der nichtlokalen Näherung der kinetischen Gleichung der Elektronen basiert. Es berücksichtigt die Vielfalt der möglichen Stoßprozesse zwischen Elektronen und Neutralgaskomponenten, die Interelektronenwechselwirkung, die Kühlung der Elektronen im Raumladungsfeld und die Chemoionisation. Einer der Schwerpunkte der Untersuchungen war die Bestimmung des stationären Zustandes der RF-Entladung, aus dem die Afterglowphase startet. Erste Ergebnisse für Argon bei einem Druck um 2 Pa werden präsentiert. Das zeitliche Verhalten der isotropen Komponente der Elektronen-Geschwindigkeitsverteilungsfunktion, der Dichte und mittleren Energie der Elektronen sowie des Wandpotenzials werden im Vergleich mit experimentellen Daten diskutiert.
Gefördert durch die DFG (Projekt Uh 106/2-1).