Augsburg 2006 – scientific programme

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P: Plasmaphysik

P 15: Diagnostik 2; Niedertemperaturplasmen / Plasmatechnologie 5; Plasma-Wand Wechselwirkung 1

P 15.20: Poster

Tuesday, March 28, 2006, 17:00–19:00, Flure

Abtrag von Polymerschichten mittels eines gleichspannungsgetriebenen Atmosphärendruck-Plasma-Jets — •Damian DUDEK, Albrecht BROCKHAUS und Jürgen ENGEMANN — Forschungszentrum für Mikrostrukturtechnik - fmt, Bergische Universität Wuppertal, Rainer-Gruenter-Str. 21, 42119 Wuppertal

Eine Atmosphärendruck-Plasma-Jet (APJ) Quelle wurde entwickelt, die sich in Umgebungsluft mit Gleichspannung betreiben lässt und ein Niedertemperaturplasma fern vom thermischen Gleichgewicht erzeugt. Der Durchmesser des austretenden Plasma-Jets liegt in der Größenordnung von einigen hundert Mikrometern bei einer Länge von bis zu zwei Zentimetern. Hiermit ist es möglich, eng lokalisierte, punktuelle Behandlungen von Materialoberflächen zu realisieren. Als Beispiel zeigt dieser Beitrag, wie Polymerschichten an definierten Stellen von einem Siliziumsubstrat entfernt werden. Dabei wurde die Abtragseffizienz durch Leistungseinkopplung in das Plasma variiert und durch Wägevergleiche des Substrates ermittelt.

Eine erste Charakterisierung der Plasmaentladung erfolgte mittels optischer Emissionsspektroskopie. Es zeigt sich, dass das Spektrum des Luftplasmas im Wesentlichen aus Emissionsbanden des neutralen und ionisierten Stickstoffmoleküls besteht. Ferner ist die Rotationstemperatur von Interesse, um Rückschlüsse auf die Art des Ätzangriffes auf das Polymer zu ziehen.

Die Arbeiten werden durch die Deutsche Forschungsgemeinschaft (DFG) im Rahmen des Graduiertenkollegs 1051 gefördert.