Augsburg 2006 – scientific programme

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P: Plasmaphysik

P 15: Diagnostik 2; Niedertemperaturplasmen / Plasmatechnologie 5; Plasma-Wand Wechselwirkung 1

P 15.5: Poster

Tuesday, March 28, 2006, 17:00–19:00, Flure

Messung der Rotationstemperatur von CF₂ in fluorkohlenstoffhaltigen RF-Plasmen — •Sergey Stepanov¹, Onno Gabriel², Milena Pfafferott¹ und Jürgen Meichsner¹ — ¹Institut für Physik, Universität Greifswald, Domstraße 10a, D 17489, Greifswald, Deutschland — ²ETP group, Technische Universiteit Eindhoven, NL

Die Radikale CF, CF₂ und CF₃ als Dissoziationsprodukte von CF₄ spielen eine wichtige Rolle bei der Bildung größerer Moleküle sowie bei der Wechselwirkung mit Oberflächen. Zur Bestimmung absoluter Radikaldichten und Untersuchung ihrer Kinetik wurde die hochauflösende IR-Absorptionsspektroskopie mit durchstimmbaren Diodenlasern (IR-TDLAS) eingesetzt. Unter Voraussetzung eines thermodynamischen Gleichgewichtes und Kenntnis der Rotationstemperatur kann die sichtlinienintegrierte absolute Teilchendichte aus der Linienstärke eines Rotations-Vibrationsübergangs berechnet werden. Es wurden zwei verschiedene Methoden (Boltzmann-Plot, Temperaturabhängigkeit der Linienstärke) zur Bestimmung der Rotationstemperatur herangezogen. Das zeitliche Verhalten der Rotationstemperatur und der CF₂-Dichte in gepulsten fluorkohlenstoffhaltigen RF-Plasmen (13,56 MHz, CCP) wurde studiert. Dabei wurde eine Erhöhung der Rotationstemperatur während des Plasmapulses bis etwa 700K mit Zeitkonstanten im ms-Bereich gemessen. Die Untersuchungen werden durch die DFG im SFB-Transregio 24 "Grundlagen komplexer Plasmen" gefördert.