Augsburg 2006 – wissenschaftliches Programm

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P: Plasmaphysik

P 15: Diagnostik 2; Niedertemperaturplasmen / Plasmatechnologie 5; Plasma-Wand Wechselwirkung 1

P 15.9: Poster

Dienstag, 28. März 2006, 17:00–19:00, Flure

Aktive Resonanzspektroskopie für Niedertemperaturplasmen — •Martin Lapke, Thomas Mussenbrock und Ralf Peter Brinkmann — Lehrstuhl für Theoretische Elektrotechnik, Center for Plasma Science and Technology, Ruhr-Universität Bochum, D-44870 Bochum

Die in der Halbleitertechnologie eingesetzten Plasmadiagnostikmethoden müssen besondere Kriterien erfüllen: sie müssen schnell und preisgünstig sein, und darüber hinaus dürfen sie sowohl elektrisch als auch chemisch nur extrem schwach auf das Plasma zurückwirken, um Verunreinigungen zu minimieren und somit den Prozesserfolg nicht zu gefährden. Eine Technik, die die genannten Kriterien in großem Maße erfüllt und die bereits mit Erfolg eingesetzt wird, basiert auf der Auswertung von Frequenz und Dämpfung der in kapazitiven HF-Entladungen selbsterregten Plasma-Serienresonanz [1,2]. Eine weitere viel versprechende Methode, die zuerst von H. Sugai [3] vorgeschlagen wurde, basiert auf der Auswertung bestimmter Resonanzen, welche durch Einkopplung kleiner hochfrequenter Signale angeregt werden. Dieser Beitrag widmet sich auf Basis eines konsistenten, vollständig analytischen Modells der theoretischen Untersuchung der in Niedertemperaturplasmen angeregten Resonanzen. Die Interpretation erfolgt in Hinblick auf Nutzung dieser Resonanzen als Kern einer robusten, industriell einsetzbaren Plasmadiagnostik.

[1] E. Semmler et al., Beitrag auf dieser Tagung

[2] T. Mussenbrock, Dissertation, Ruhr-Universität Bochum, 2004

[3] Sugai et al., Jpn. J. Appl. Phys., 38 (1999)