Augsburg 2006 – wissenschaftliches Programm

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P: Plasmaphysik

P 21: Plasma-Wand Wechselwirkung 2

P 21.4: Vortrag

Mittwoch, 29. März 2006, 12:15–12:30, 1002

Erzeugung von a-C:H Schichten mit variabler Rauhigkeit und Benetzbarkeit in einem HF-Niederdruckplasma — •Nikita Bibinov und Klaus Wiesemann — Ruhr-Universität Bochum, Allgemeine Elektrotechnik und Plasmatechnik, D-44780 Bochum

Weiche a-C:H Polymerfilme werden in einer gepulsten kapazitiv gekoppelten HF-Entladung bei f=13,56MHz in einem Edelgas (He,Ar)-Acetylen (Methan) Gasgemisch abgeschieden. Die Morphologie und Benetzbarkeit der abgeschiedenen Polymerschichten hängen sehr stark von der Plasmapulsdauer und dem Gasgemisch ab. Plasmaparameter werden spektroskopisch bestimmt und die plasmachemische Kinetik modelliert. Die Korrelation zwischen berechneten Teilchenflüssen (Ionen und Radikalen) auf der Oberfläche des Substrats und der Oberflächenrauhigkeit und -benetzbarkeit der abgeschiedenen Polymerfilme wird diskutiert.