P 2: Niedertemperaturplasmen / Plasmatechnologie 1
Monday, March 27, 2006, 14:45–16:30, 1002
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14:45 |
P 2.1 |
Fachvortrag:
Zeitliche und räumliche Verteilung der Ladungsträger einer induktiven RF-Entladung — •J. Alexander Wagner
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15:15 |
P 2.2 |
Die Elektronendichte in einem gepulsten Sauerstoff-Plasma — •George-Felix Leu, Albrecht Brockhaus und Jürgen Engemann
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15:30 |
P 2.3 |
Phase resolved optical emission spectroscopy on an industrial dual frequency capacitively coupled RF discharge — •Julian Schulze, Timo Gans, Deborah O Connell, Uwe Czarnetzki, and Miles Turner
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15:45 |
P 2.4 |
Space- and time-resolved development of a pulsed magnetron discharge — •Thoralf Dunger, Thomas Welzel, and Frank Richter
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16:00 |
P 2.5 |
Anwendbarkeit der Massenspektrometrie zur quantitativen Analyse von Schaltergasen — •C. M. Franck, M. Bender und V. Choy
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16:15 |
P 2.6 |
Untersuchung eines Mikrowellenkonzentrators als linear ausgedehnte Plasmaquelle — •U. Schweitzer, A. Schulz, M. Walker und U. Stroth
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