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P: Plasmaphysik

P 4: Diagnostik 1; Niedertemperaturplasmen / Plasmatechnologie 2; Magnetischer Einschluß 2

P 4.41: Poster

Montag, 27. März 2006, 17:00–19:00, Flure

Spektroskopische Untersuchungen an einem durchstimmbaren Hochfrequenzplasma eingeschlossen durch ein magnetisches Quadrupolefeld — •Jörg Wiechula, Christian Teske, Markus Iberler, Julian Schunk und Joachim Jacoby — Universität Frankfurt, Institut für Angewandte Physik

Ein hochfrequenzangeregtes Niedertemperaturplasma wird mit Hilfe spektroskopischer Methoden studiert. Die Energieeinkopplung in das Plasma erfolgt durch elektrodenlose induktive Einkopplung eines durchstimmbaren hf-Feldes an das Gas. Darüber hinaus wird durch ein statisches magnetisches Vierpolfeld die Wechselwirkung der geladenen Teilchen mit der Wand reduziert. Untersucht wird nun die Effizienz der Ankopplung der hf-Leistung an das Plasma in Abhängigkeit verschiedener Parameter wie Frequenz, Antennenbauart und Gasdruck. Als Füllgas wird für sämtliche Messungen Argon verwendet. Zur Charakterisierung und Optimierung der Plasmaparameter werden jeweils spektroskopische Untersuchungen vorgenommen.