Augsburg 2006 – scientific programme

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PV: Plenarvorträge

PV VI

PV VI: Plenary Talk

Wednesday, March 29, 2006, 14:00–14:45, 1002

Plasmen in der Beschichtungstechnik - Beispiele für aktuelle Entwicklungen — •Günter Bräuer — Fraunhofer-Institut für Elektronenstrahl- und Plasmatechnik, Winterbergstr. 28, 01277 Dresden

Großvolumige technische Plasmen sind heute der Schlüssel für eine wirtschaftliche Herstellung hochwertiger Funktionsschichten auf ebenen (z.B. Glastafeln) oder dreidimensionalen Substraten. Während der vergangenen 30 Jahre haben sich physikalische und chemische Dampfabscheidung aus dem Plasma in vielen Anwendungsfeldern etabliert. Gepulste Plasmen spielen seit etwa 10 Jahren eine wichtige Rolle in Forschung und Industrie. Das Puls-Magnetron-Sputtern hat wesentliche Probleme bei der langzeitstabilen Abscheidung isolierender Schichten wie Al2O3 oder SiO2 gelöst. Eine aktuelle Weiterentwicklung dieser Technik, das so genannte Hochleistungs-Pulssputtern, liefert Plasmen mit Ionisierungsgraden größer als 0,5 und damit auch völlig neue Schichteigenschaften. Das gegenwärtige Interesse gilt besonders auch atmosphärischen Plasmen auf der Basis von Barriereentladungen. Entsprechende Quellen sind einfach aufgebaut und ohne Probleme skalierbar. Anwendungsbeispiele sind die Reinigung oder Funktionalisierung der Oberflächen von Flachsubstraten sowie die Modifikation innerer Oberflächen von Mikrofluidikkomponenten. Der Beitrag behandelt die genannten und weitere Beispiele für den Einsatz von Plasmen in der Oberflächentechnik.