Augsburg 2006 – wissenschaftliches Programm

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SYKP: Kurzpulslaser - fs und ps-Systeme, Anwendungen und Perspektiven

SYKP 3: Symposium Kurzpulslaser III - Anwendungen

SYKP 3.3: Hauptvortrag

Mittwoch, 29. März 2006, 15:00–15:30, 1001

Mikro-Schockwellen durch Ultrakurzpuls-Interaktion als neuartiger Mechanismus für ein hochgenaues Laserjustierverfahren — •Michael Schmidt und Manfred Dirscherl — Bayerisches Laserzentrumg gGmbH, Konrad-Zuse-Str. 2-6, 91052 Erlangen

Die Funktion mikromechanischer und mikrooptischer Baugruppen muss oftmals durch hochgenaue Positionierung einzelner optischer, mechanischer oder elektronischer Komponenten sichergestellt werden. Thermisch basierte Laserjustierverfahren stoßen bei fortschreitender Miniaturisierung sowohl bezüglich der Ausbildung der erforderlichen Temperaturgradienten als auch der Justiergenauigkeit an ihre Grenzen, zusätzlich limitiert die thermische Belastbarkeit der Aktoren und der zu justierenden Komponenten ihre Anwendbarkeit.

Das wesentliche Ziel der vorgestellten Arbeit ist es daher, neue laserbasierte Prozesse zur Mikrojustiertechnik mittels Laserstrahlung grundlegend theoretisch und experimentell zu untersuchen, die nicht auf thermischen Mechanismen basieren. Deshalb werden gezielt Mechanismen zur Erzeugung von Mikrodeformationen auf Grundlage der kalten Wechselwirkungseffekte von ultrakurzen Laserpulsen mit Materie erforscht und analysiert. In diesem Beitrag wird das Laserstrahljustieren durch Mikro-Schockwellenumformen vorgestellt. Dieser Prozessmechanismus nutzt die mechanische Wirkung der bei der Ultrakurzpulslaserablation auftretenden, schnellen Plasmaexpansion zur Erzeugung plastischer Mikrodeformationen im Aktor, während thermische Interaktionen weitestgehend vermieden werden können.