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DS: Dünne Schichten

DS 24: Poster presentation

DS 24.79: Poster

Dienstag, 28. März 2006, 15:00–17:30, P2

Charakterisierung von Mikrostrukturen mittels ortsaufgelöster RBS- und PIXE-Analyse — •Tilo Reinert and Christoph Meinecke — Institut für Experimentelle Physik II, Universität Leipzig Linnéstr.5, 04103 Leipzig

Die DFG-Forschergruppe 522 No-dqArchitektur von nano- und mikrodimensionalen StrukturelementenNo-dq beschäftigt sich mit der Herstellung, Charakterisierung und Analyse neuartiger Architekturen, die als funktionelle Grundbausteine für zukünftige Anwendungen in der Nanomechanik, Sensorik, Photonik und Elektronik studiert werden. Neben der funktionellen Charakterisierung ist auch eine morphologische und stoffliche Analyse essentiell für das Verständnis ihrer neuartigen Eigenschaften. Dabei stoßen herkömmliche Ionenstrahl-Analysemethoden (RBS, PIXE) wegen der nano- und mikroskaligen, drei-dimensionalen Untersuchungsobjekte an ihre Grenzen. Erst die Verwendung von fokussierten MeV-Ionenstrahlen (He⁺, H⁺) mit einer lateralen Ortsauflösung im sub-Mikrometerbereich ermöglicht die Analyse heterogener Mikro- und Nanostrukturen. An der Leipziger Hochenergie-Ionen-Nanosonde LIPSION wird deshalb die Entwicklung einer quantitativen und hochempfindlichen Analytik zur 3D-Charakterisierung verfolgt. Im ersten Schritt wurde die laterale Ortsauflösung bei RBS und PIXE auf unter 500 nm verbessert. Damit konnten bereits einige Strukturen (Kylindrit, GaAs/GaInAs/AlAs, optische Mikroresonatoren) analysiert werden. Ein zweiten Schritt ist in Vorbereitung. Durch die Verwendung eines facettierten Teilchendetektors für RBS wird die Tiefenprofilierung und damit die 3D-Charaktrerisierung verbessert.