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VA: Vakuumphysik und Vakuumtechnik

VA 2: Surfaces, instruments and systems

VA 2.6: Vortrag

Montag, 27. März 2006, 12:20–12:40, HSZ 101

Modell zur Beschreibung der Kompression von Wälzkolben-Pumpen — •Gerhard Voss — Leybold Vacuum Köln

Mit einer Methodik, die für die Berechnung der Kompressions-Kurven von Klassischen Turbo-Molekularpumpen entwickelt wurde [ G. Voss in Vakuum in Forschung und Praxis 17 (2005) Nr. 6 ], können auch die Kompressions-Kurven von Wälzkolben-Pumpen berechnet und systematisch analysiert werden. Für die Abhängigkeit des Hochvakuum-Drucks und der Kompression vom Vorvakuum-Druck liefert das Modell einfache analytische Funktionen. Aus den Kompressions-Kurven bei endlichem Gas-Durchsatz (Q > 0) kann die Kompressions-Kurve für Gas-Durchsatz Null gewonnen werden, wobei die Rückförderung der Wälzkolben-Pumpe zu berücksichtigen ist. Der Vergleich mit experimentellen Daten zeigt, dass das vorgestellte Modell eine exzellente qualitative und quantitative Beschreibung der beobachteten Phänomene liefert.