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Q: Quantenoptik und Photonik
Q 64: Photonische Kristalle V
Q 64.4: Talk
Thursday, March 16, 2006, 14:45–15:00, HI
Herstellung von photonischen Kristallen mit hohem Aspektverhältnis in Lithiumniobat — •Holger Hartung1, Thomas Gischkat2, Frank Schrempel2, Ernst-Bernhard Kley1 und Andreas Tünnermann1 — 1Institut für Angewandte Physik Universität Jena — 2Institut für Festkörperphysik Universität Jena
Die Herstellung periodischer Strukturen zur Erzeugung einer photonischen Bandlücke erfordert eine gute Kontrollierbarkeit von Periodizität, Größe und Form der Strukturen. Für die Herstellung von photonischen Kristallen in Gläsern liefern herkömmlichen Verfahren wie Trockenätzen ausreichend gute Ergebnisse. Lithiumniobat zeigt gegenüber diesen Verfahren jedoch eine hohe Widerstandsfähigkeit und die Anwendung dieser Verfahren führt zu unbefriedigenden Ergebnissen, insbesondere zu einer schlechten Formtreue. Wir präsentieren ein Verfahren, welches zur Herstellung von photonischen Kristallen in Lithiumniobat verwendet werden kann. Dieses Verfahren zeigt eine hervorragende Formtreue der hergestellten Strukturen. Der Herstellungsprozess teilt sich in eine Amorphisierung des Lithiumniobats durch Ionenbestrahlung und nasschemisches Entfernen der amorphisierten Bereiche.