Düsseldorf 2007 – scientific programme

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K: Fachverband Kurzzeitphysik

K 3: Laseranwendungen und Lasermaterialbearbeitung

K 3.2: Talk

Tuesday, March 20, 2007, 11:15–11:30, 6E

Superauflösende nichtlineare Femtosekundenlaserlithographie — •Jürgen Koch, Elena Fadeeva und Boris Chichkov — Laser Zentrum Hannover e.V., Hollerithallee 8, D-30419 Hannover

Mikro- und Nanostrukturen werden heutzutage meistens mittels Photolithographie hergestellt. Diese Technik eignet sich zur kostengünstigen Massenproduktion von Bauteilen mit Strukturgrößen bis in den Sub-100nm-Bereich. Ihr Einsatz in der Prototypen- und Kleinserienfertigung scheidet aber in der Regel aufgrund der hohen Kosten für die notwendigen Lithographiemasken aus. Hier sind alternative, maskenlose Techniken gefragt. Viel versprechend ist der Einsatz von Femtosekundenlasertechnik. Die Vorteile, die diese Technik in der abtragenden Materialbearbeitung bietet, kommen auch bei der Photoresistbelichtung zum Tragen. Durch Ausnutzung nichtlinearer Effekte kann eine Superauflösung erzielt werden -- Strukturgrößen sehr viel kleiner als das Beugungslimit sind möglich.

Die am Laser Zentrum Hannover entwickelte maskenlose Femtosekundenlaserlithographie wird vorgestellt. Fragen der erreichbaren Strukturgrößen sowie der Prozesszeit werden erörtert. Beispiele für mögliche Anwendungen werden gegeben.