Düsseldorf 2007 – scientific programme

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P: Fachverband Plasmaphysik

P 16: Poster

P 16.13: Poster

Wednesday, March 21, 2007, 16:30–18:30, Poster A

Modellierung einer RF-Entladung mit strukturiertem Elektrodenpotenzial — •Florian Sigeneger¹, Detlef Loffhagen¹, Ralf Basner¹ und Holger Kersten² — ¹INP Greifswald, Felix-Hausdorff-Str. 2, 17489 Greifswald — ²IEAP, Christian-Albrechts-Universität, 24098 Kiel

Zur Analyse von Staubteilchen in der Plasma-Randschicht erfolgen Untersuchungen an der asymmetrische RF-Entladung PULVA-INP. Die in den Reaktor eingelassenen Staubteilchen ordnen sich in der Randschicht über der adaptiven Elektrode an. Diese befindet sich unterhalb der gespeisten Elektrode und ist in Segmente geteilt, mit deren Hilfe die Randschicht gezielt manipuliert werden kann.

Zur Charakterisierung der Argonentladung erfolgte eine theoretische Beschreibung mit Hilfe eines selbstkonsistenten zweidimensionalen Fluidmodells. Das Modell umfasst u.a. die gekoppelte Lösung der Poissongleichung, der Teilchenbilanzgleichungen der Elektronen und Ionen, der Impulsbilanz der Ionen sowie der Energiebilanz der Elektronen. Letztere liefert die mittlere Energie der Elektronen sowie die sich daraus ergebenden Raten- und Transportkoeffizienten. Der periodische Zustand wird mit Hilfe eines transienten Lösungsverfahrens unter Verwendung unterschiedlicher Zeitschrittweiten für die Elektronen und schweren Teilchen erhalten. Die Ergebnisse dokumentieren das ausgeprägt asymmetrische Verhalten der Entladung sowie die Reaktion des Plasmas auf Bias-Spannungen, die einem Ring von Pixeln der adaptiven Elektrode aufgeprägt werden. Die im Bulkplasma gefundenen Werte des Plasmapotenzials und der Elektronendichte stimmen gut mit experimentellen Ergebnissen überein.