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P: Fachverband Plasmaphysik

P 16: Poster

P 16.14: Poster

Mittwoch, 21. März 2007, 16:30–18:30, Poster A

Thermosonden zur Untersuchung von Plasma-Oberflächen-Prozessen — •Matthias Wolter¹, Tim Happel¹, Ruben Wiese² und Holger Kersten¹ — ¹IEAP, Universität Kiel, Leibnizstr.19, 24098 Kiel — ²INP Greifswald, F.-L.-Jahn-Str. 19, 17489 Greifswald

Die thermischen Bedingungen an der Substratoberfläche bestimmen wesentlich das Zusammenwirken der Elementarprozesse (Adsorption, Diffusion, chemische Reaktionen) sowie die Mikrostruktur und Stöchiometrie der oberflächennahen Bereiche bei der Plasmabehandlung von Festkörpern. Deshalb kommt der experimentellen Bestimmung des Energieeinstroms auf das Substrat, der mit speziellen Thermosonden gemessen wird, eine große Bedeutung zu.

Der hier vorgestellte Aufbau zeichnet sich insbesondere durch seine Mobilität aus: Die Thermosonde(n), eine kompakte Box mit der gesamten Meßelektronik und ein handelsüblicher Computer ermöglichen den mobilen Einsatz des Meßplatzes an relevanten Prozessplasmen vor Ort. Das Programm verfügt neben der Datenaufnahme mit bis zu 48 kS/s in bis zu vier Kanälen auch über die on-the-fly-Auswertung der Messkurven und die direkte Anzeige des resultierenden Energieflusses. Die Sonden besitzen eine hohe Empfindlichkeit (< 10⁻³ Jcm⁻²s⁻¹), sie sind nahezu universell einsetzbar und in ihrer Handhabung äußerst einfach. Der Einsatz des Meßverfahrens ist für verschiedene Systeme (ECR-Plasma, DC-Magnetron, HF-Plasma) möglich.