Düsseldorf 2007 – scientific programme

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P: Fachverband Plasmaphysik

P 16: Poster

P 16.20: Poster

Wednesday, March 21, 2007, 16:30–18:30, Poster A

Phasenaufgelöste räumliche Emissionsstrukturen in kapazitiv gekoppelten RF-Plasmen — •Sebastian Nemschokmichal, Kristian Dittmann und Jürgen Meichsner — Universität Greifswald, Institut für Physik, Felix-Hausdorff-Straße 6, 17487 Greifswald

Untersuchungsgegenstand ist das elektrodennahe Plasma und die RF-Randschicht einer kapazitiv gekoppelten asymmetrischen Hochfrequenzentladung (13.56 MHz). Axiale Emissionsprofile von atomarem Sauerstoff (844 und 777 nm), Wasserstoff (656 nm) und Argon (750 nm) werden in Abhängigkeit von der RF-Phase intensiv studiert.

Der angeregte atomare Wasserstoff zeigt die in RF-Plasmen typischen Emissionsstrukturen, resultierend aus Elektronenstoßanregungen (Schichtheizung, Feldumkehr, Sekundärelektronen) und Schwerteilchenstößen.

In Sauerstoffplasmen treten zwei phasenverschobene Emissionsstrukturen an der Randschichtkante auf, die zum einen durch Elektronenstoßanregung in Folge der Schichtheizung und zum anderen durch Sekundärelektronen hervorgerufen werden. Letztere tritt jedoch nur bei höheren Drücken und Leistungen auf (z.B. 100 Pa, 80 W). Die Emission direkt vor der RF-Elektrode wird durch Schwerteilchenstöße verursacht.