Düsseldorf 2007 – scientific programme
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P: Fachverband Plasmaphysik
P 16: Poster
P 16.9: Poster
Wednesday, March 21, 2007, 16:30–18:30, Poster A
Bestimmung absoluter CF2- und C2F4-Dichten in gepulsten CF4/H2 RF-Plasmen mittels IR-TDLAS — •Sergey Stepanov1, Onno Gabriel2, Milena Pfafferott1 und Jürgen Meichsner1 — 1Inst. für Physik, EMAU Greifswald, Felix-Hausdorff-Str. 6, 17487 Greifswald — 2ETP group, TU Eindhoven, NL
Zur Bestimmung absoluter Dichten von CF2-Radikalen und C2F4-Molekülen in gepulsten kapazitiv gekoppelten CF4/H2 RF-Plasmen (13.56 MHz) wurde die hochauflösende IR-Diodenlaser-Absorptionsspektroskopie (IR-TDLAS) eingesetzt. Hierzu sind die Wellenzahlen relevanter Absorptionslinien sowie deren Linienstärken erforderlich. Im Fall der relativ einfachen CF2-Moleküle können diese für die untersuchte ν3-Bande theoretisch berechnet werden. Zur Bestimmung der CF2-Dichte wurde die P2(21) Linie bei 1096.3433cm−1 ausgewählt. Für C2F4, einen wichtigen Reaktionsprodukt in den untersuchten Plasmen, sind dagegen keine detaillierten spektroskopischen Daten verfügbar. Bei der Pyrolyse von Teflon konnte C2F4 zur spektroskopischen Analyse bereitgestellt werden. Durch die Untersuchung der ν9-Bande wurde eine C2F4-Absorptionsstruktur, bestehend aus mehreren überlappenden Linien, um 1337.11cm−1 gefunden. Unter definierten Druck- und Temperaturbedingungen wurde diese Struktur angefittet und zur Bestimmung von C2F4-Dichten im Plasma verwendet. Das gemessene zeitliche Verhalten der CF2- und C2F4-Dichten zeigt deutliche Korrelationen. Dabei wird ihre Kinetik in der Pulspause durch Reaktionen 1. und 2. Ordnung bestimmt. Vermutlich spielen dabei auch Wandreaktionen eine dominierende Rolle.